高溫試驗箱的主要技術特點

2022-07-06 13:36 林頻儀器
  高溫試驗箱用于半導體制造中硅片、銀酸鋰、玻璃等材料的預處理烘烤,涂膠后的膠膜烘烤和高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示實驗室等生產科研部門,也可用于其他高溫試驗,如干燥、熱處理、老化等。
高溫試驗箱的主要技術特點
  高溫試驗箱的主要技術特點是什么?
 
  1、溫度范圍:(環境溫度+20)℃~200℃(可按客戶要求辦理);
 
  2、加熱時間:環境溫度→+200℃≤35min;
 
  3、氮氣導入:冷卻過程中打開兩個閥門,保持正壓狀態。每個分支配有一個控制電磁閥和一個調節流量計,在加熱(排氧)過程中打開兩個閥門,確保氧氣能夠完全排出;
 
  4、冷卻時間:2000℃~80℃時,約50分鐘;
 
  5、通信功能:S-具有本地和遠程通信功能的485接口(需要配備集中監控軟件),需要占用PC機的COM口和USB可同時連接16臺設備,累計電纜長度最大800m。
 
  安裝現場要求:
 
  1、設備周圍沒有強振動;
 
  2、沒有強電磁場;
 
  3、沒有易燃、腐蝕性物質和粉塵;
 
  4、高溫試驗箱設備周圍有適當的使用和維護空間:A:不小于60cm;B:不小于120cm;C:不小于60cm;D:不小于120cm。
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